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南方微电儿子第二台Al Pad PVD设备顺顺手提交付武

日期:2019-05-14 |  来源:原创 |  作者:locoy |  人围观 |  0 人鼓掌了!

  七星电儿子

  (002371)

  迩到来,七星电儿子资产重组的标注的公司南方微电儿子传到来音耗,公司己主研发的用于集儿子成电路Al Pad工艺的eVictor A830 PVD设备又次成move in武汉新芯,同时,该设备也得到了多家国际父亲厂的后续订单。

  eVictor A830 PVD设备是壹款运用于IC范畴的副传输平台12英寸物理气相堆设备,顶持8腔室配备,却以完成Al带电层、Ti(N)/Ta(N)阻挡层、TiN抗反照层等多种薄膜的制备,是NMC史上体型最庞父亲,腔室至多的体系。它打破开了高温静电卡盘、厚铝就续堆、低雕刻折本快比值预涤除工艺、副传输腔体系调理等关键技术,顺顺手经度过了MSTR验证,技术程度处于市场尽先先位置,具拥有工艺温度平分性好、摆荡性高、产能父亲等特点,余外面,高Throughput、低CoO和CoC等特点给客户工艺集儿子成供了广大为怀广的优募化当空。

  Al Pad PVD顺顺手取得武汉新芯的二次订单,又次move in 武汉新芯,是客户对其技术才干及量产摆荡性的壹定,亦对南方微电儿子技术主力的相信以及对国产设备的认却。武汉新芯是中国尽先先的半带体创造公司,专注于存放储器及特种工艺的研发与消费。就中,闪存放与镜头传感器技术工艺曾经跻身世界尽先先水壹致列。在国度集儿子成电路基金及中内阁的顶持下,武汉新芯方案投资240亿美元确立国度存放储器产业基地项目。

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